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碳化硅（SiC）晶圓超聲劃片

發(fā)布：2022-06-27

SiC超聲輔助切割技術(shù)

引文：DISCO Technical Review Mar. 2016

摘要：SiC是一種難加工的材料，有望成為功率器件的新材料，因其硬度而進(jìn)行常規刀片切割。建議使用超聲波切割和隱形切割加工SiC晶圓。在這篇綜述中，我們介紹了這些劃片技術(shù)的每一個(gè)特點(diǎn)，以及比較質(zhì)量和生產(chǎn)率。

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Dicing technologies for SiC.pdf

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